產品說明
杜邦™SAC™ EKC652™半水性化學剝離劑是一種良好化學配方,能快速有效清除含傳統集成材料基材上的蝕刻后殘留物。
EKC652™應用專為去除傳統集成材料在濕法臺式或批量噴淋操作后的蝕刻殘留物而設計,可實現250納米及以下半導體器件的高良率生產。
產品性能
• 理想適用于關鍵尺寸≤250nm的器件
• 兼容多種傳統集成材料
• 浴液壽命長,擁有成本低
• 可在各類設備、濕式平臺或批量噴淋中穩定運行
• 通過提升器件電性能實現工藝處理
• 更小的環境影響解決方案
北京中科復華科技有限公司是一家致力于為半導體領域和微納米科學領域提供綜合性解決方案,為全國各大高校、科研院所及企事業單位提供的半導體設備儀器和微納米科學儀器,擁有一支經驗豐富、技術過硬的技術團隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務。未來公司將不斷和引進在微納米科學領域中起重要作用的新儀器和新產品,同時也與全國各所的大學、學院和科研院所建立了良好的合作關系,致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作, 為中國的教育與科研事業在廣范圍、高層次上提供服務。
產品說明
杜邦™SAC™ EKC652™半水性化學剝離劑是一種良好化學配方,能快速有效清除含傳統集成材料基材上的蝕刻后殘留物。
EKC652™應用專為去除傳統集成材料在濕法臺式或批量噴淋操作后的蝕刻殘留物而設計,可實現250納米及以下半導體器件的高良率生產。
產品性能
• 理想適用于關鍵尺寸≤250nm的器件
• 兼容多種傳統集成材料
• 浴液壽命長,擁有成本低
• 可在各類設備、濕式平臺或批量噴淋中穩定運行
• 通過提升器件電性能實現工藝處理
• 更小的環境影響解決方案
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