INF800-LP-WM激光平面數字干涉儀

序號

指標名稱

指標參數

1

測試結構

臥式雙端口；

2

測試口徑

大端口：通光口徑≥φ815mm，有效口徑≥φ800mm;

小端口: 通光口徑≥φ102mm，有效口徑≥φ100mm；

3

相移方式

QPS波長調諧相移解相；

4

測試光源

波長調諧相干光源，λ=632.8nm，相干長度≥100m；

5

CCD指標

分辨率≥2.3K×2.3K，幀率≥50Hz；

6

φ800mm標準楔形鏡（TF鏡）

標準面面形：PVr優于λ/12，中頻誤差PSD1小于0.9nm，進口熔石英材料；

7

φ800mm標準反射鏡（RF鏡）

標準反射面面形：PVr優于λ/12，中頻誤差PSD1小于0.9nm，進口微晶材料；

8

系統傳遞函數

ITF ≥ 0.7 @ 0.4 mm-1（φ800mm大端口系統）；

9

系統精度

系統精度：系統空腔精度PVr優于λ/10，中頻誤差PSD1小于0.9nm（φ800mm有效口徑內）；

10

系統重復性精度

系統重復性精度：系統RMS重復性優于0.63nm，λ/1000（2σ）；

11

調焦范圍

光瞳調焦范圍≥±2.5m；

12

ZOOM變焦

ZOOM變焦：1X光學變焦，50X數字變焦；

13

測試對準方式與角度

測試對準方式與角度：快對準與精密對準方式，對準角度≥±15°/±3°；

14

波長調諧相移分析軟件

輸出峰谷值（PV）、標準偏差（RMS）、等高圖、X-Y剖面圖、三維立體圖、干涉條紋圖、MTF(光學傳遞函數)、PSF(點擴散函數)，澤爾尼科多項式分析、賽德爾相差分析等；

分析軟件可進行矩形、橢圓、正方形、圓、多邊形等數據分析功能；

平行平板類元件測試功能（樣品無需特殊處理），一次干涉條紋數據采集可同時得到，平行平板前表面面形、后表面面形，光學厚度變化；

具有材料均勻性測試分析功能；

15

標準反射鏡支撐調節

二維手動與電控角度調節，整體結構氣浮大范圍移動；

16

測試工裝

兩維角度調節，一維平移調節，大范圍氣浮調節；

17

氣浮隔振平臺

進口TMC氣浮L形隔振平臺，

尺寸≤3500mm1500mm+1500mm×3000mm。