壓電馬達線性平移臺

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公司名稱上海昊量光電設備有限公司
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所在地上海市
廠商性質其他
更新時間2026/6/26 19:35:43
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壓電馬達線性平移臺壓電馬達平移臺納米級平移臺大行程壓電平移臺壓電馬達微動臺

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上海昊量光電設備有限公司是目前國內光電產品專業代理商，也是近年來發展迅速的光電代理企業。除了擁有一批專業技術銷售工程師之外，還有擁有一支*技術支持隊伍。我們的技術支持團隊可以為客戶提供完整的設備安裝，培訓，硬件開發，軟件開發，系統集成等工作。不但為客戶提供適合的產品，而且為客戶提供*的服務是我們始終秉承的理念！

自2008年成立以來，昊量光電專注于光電領域的技術服務與產品經銷，致力于引進國外很具*性與創新性的光電技術與可靠產品，為國內前沿的科研與工業領域提供的產品與服務，助力中國智造與中國創造! 目前，昊量光電已經與來自美國、歐洲、日本的多家光電產品制造商建立了緊密的合作關系。其代理品牌均處于相關領域的發展前沿，產品包括各類激光器、光電調制器、光學測量設備、精密光學元件等，所涉足的領域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學研究與國防等。

昊量光電堅持“專業源自專注，專注成就未來”的經營理念。近年來，我們專注于前沿的細分市場，為量子光學、生物顯微、物聯傳感、精密加工、*激光制造等領域的客戶提供系統解決方案。

秉承誠信、高效、創新、共贏的核心價值觀，昊量光電堅持以誠信為基石，憑借高效的運營機制和勇于創新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創造價值，實現各方共贏！

立足于光電產業，昊量光電始終堅持價值創造與創新，贏得客戶與合作伙伴的認可，不斷拓展業務領域的新邊疆，立志打造國際的代理服務品牌！

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U-XLS系列壓電馬達線性平移臺擁有*的特點。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達位移平臺。
該平移臺采用無聲的超聲波馬達，超聲波馬達是通過一個耦合元件抵住移動導向轉子，在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發產生超聲波振動，促動器的變形使耦合元件相對于轉子產生周期性的對角運動，每個循環的進給為幾個納米，高頻的信號，可以使轉子高速的運動。因此AU-XLS系列壓電馬達平移臺的Z大速度可達到400m

壓電馬達線性平移臺產品信息

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納米級高速大行程壓電馬達平移臺

AU-XLS系列壓電馬達線性平移臺擁有*的特點。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達位移平臺。

該平移臺采用無聲的超聲波馬達，超聲波馬達是通過一個耦合元件抵住移動導向轉子，在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發產生超聲波振動，促動器的變形使耦合元件相對于轉子產生周期性的對角運動，每個循環的進給為幾個納米，高頻的信號，可以使轉子高速的運動。因此AU-XLS系列壓電馬達平移臺的zui大速度可達到400mm/s。

理論上壓電馬達平移臺的行程僅取決于轉子的長度，因此AU-XLS系列位移平臺可提供的行程范圍可達94mm，采用線性編碼器位置傳感器閉環控制，使位移平臺的位移分辨率可達到78nm，在滿足大行程的同時實現了高的精度。由于壓電陶瓷已經加載了預加力，因此斷電之后平移臺會有自鎖功能，使位移平臺依然保持在原位。這樣可以減少了能源的消耗和產熱量，提高了位移平臺的精度。

此外，由于該平臺采用模塊化設計，因此該平移臺可以組成多維位移平臺，并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。

主要特點：

l 大行程（92mm）

l 高精度（78nm）

l 高速度（400mm/s）

l 支持斷電自鎖

l 可在真空和非磁環境

主要應用：

l 光電子學

l 掃描電子顯微鏡

l 半導體生產

l 醫學和材料科學

l 生命科學與生物技術學

l 顯微鏡和計量學

產品參數：

	AU-XLS
Minimum travel range	19 mm
Maximum travel range:	92 mm
Load capacity	< 1kg
Holding / driving force	~ 1N
Min. step size	500nm [standard encoder] / 78nm [precision encoder]
Max. speed	400mm/s
Min. speed	1mm/s
Constant speed	+/- 1% at typical scan speed
Lifespan	> 100 km (typical)

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此外，由于該平臺采用模塊化設計，因此該平移臺可以組成多維位移平臺，并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。

主要特點：

l 大行程（92mm）

l 高精度（78nm）

l 高速度（400mm/s）

l 支持斷電自鎖

l 可在真空和非磁環境

主要應用：

l 光電子學

l 掃描電子顯微鏡

l 半導體生產

l 醫學和材料科學

l 生命科學與生物技術學

l 顯微鏡和計量學

產品參數：

	AU-XLS
Minimum travel range	19 mm
Maximum travel range:	92 mm
Load capacity	< 1kg
Holding / driving force	~ 1N
Min. step size	500nm [standard encoder] / 78nm [precision encoder]
Max. speed	400mm/s
Min. speed	1mm/s
Constant speed	+/- 1% at typical scan speed
Lifespan	> 100 km (typical)

關鍵詞：掃描電子顯微鏡顯微鏡電子顯微鏡

壓電馬達線性平移臺

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