1200℃雙溫區3路質量供氣高真空CVD系統

真

空

管

式

爐

產品型號

CY-CVD1200-50-200×200-3TH-Q

爐管材質

高純石英

爐管直徑

50mm（可選配60mm、80mm、100mm）

爐管長度

1000mm

爐膛長度

440mm

加熱區長

200mm+200mm

工作溫度

0～1100℃

控溫精度

±1℃

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

供

氣

系

統

產品型號

CY-3Z

氣體通道

3通道

測量部件

氣體質量流量計

測量量程

A通道：0～100SCCM    H2氣

備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。

B通道：0～300SCCM    N2氣

C通道：0～500SCCM    Ar氣

測量精度

±1.0%F.S

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50～300KPa

連接管道

304不銹鋼

控制閥門

304不銹鋼針閥

接口規格

進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

供電電源

AC:220V 50/60Hz

排

氣

系

統

產品型號

CY-GZK103-A

分子泵

CY-600

前極泵

旋片泵

抽氣速率

分子泵：600L/S

綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達：1.0E-3Pa

旋片泵：1.1L/S

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

真空測量

復合真空計：電阻規+電離規

極限真空

1.0E-5Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz