控制算法通過控制流量比實現穩定的分流控制,同時利用 HORIBA STEC 控制優化技術控制 FS-3000 上流壓力。此外,即使分流比改變,控制算法也能實現對分流的高速響應。
- 提高可擴展性、維護性能。FS-3000 可通過高速信號處理分離多達 15 個通道。若 MFC 出現故障,僅需更換故障從機即可。
- 靈活響應所需規格 FS-3000 支持混合氣體在內的多種氣體。此外,FS-3000 還支持 RS-485、DeviceNet 等用戶接口。

控制算法通過控制流量比實現穩定的分流控制,同時利用 HORIBA STEC 控制優化技術控制 FS-3000 上流壓力。此外,即使分流比改變,控制算法也能實現對分流的高速響應。

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