產品優勢
● 由于其 5 種手動、電動氣動操作的進氣口選擇,使得它在壓力高達 50 hPa 壓下為分析、監測和控制過程提供了很大的靈活性
● 通過各種數字和模擬輸入和輸出,使系統集成方便而靈活
● 多重操作允許多個質譜儀 系統只用一臺電腦進行數據評估
● 緊湊的尺寸實現靈活的集成
典型應用
● 在 1 · 10-7 至 50 hPa 的壓力范圍內進行真空工藝的分析、監測和控制
● 真空鍍膜系統的制造商和操作員
● 半導體生產
● 光刻
● 冶金
● 真空爐
● 研發
產品優勢
● 由于其 5 種手動、電動氣動操作的進氣口選擇,使得它在壓力高達 50 hPa 壓下為分析、監測和控制過程提供了很大的靈活性
● 通過各種數字和模擬輸入和輸出,使系統集成方便而靈活
● 多重操作允許多個質譜儀 系統只用一臺電腦進行數據評估
● 緊湊的尺寸實現靈活的集成
典型應用
● 在 1 · 10-7 至 50 hPa 的壓力范圍內進行真空工藝的分析、監測和控制
● 真空鍍膜系統的制造商和操作員
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