雙工作腔無氧烤箱

一．概述：
無氧烤箱 晶圓封裝無氧箱，無氧化烘箱，在工作時，工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板.

二．產品技術參數
1.名稱及型號：雙工作腔無氧烤箱AO-2DSL

FCNET（支持 ONET-240 網絡聯機功能）

2、主要技術指標：
2.1工作尺寸：W1000*D500*H610*2mm
2.2電源：380V 3φ 50HZ 18KVA
2.3含氧量控制要<=100PPM。
2.4溫度范圍：RT（室溫）+60～+300℃；
2.5溫度均勻度：±1.5%;
2.6升溫速率：室溫～250℃，45分鐘(空箱測試)。（客戶工藝溫度可達300℃）
2.7風冷降溫：100分鐘內降溫可從250℃達到70℃

3、箱體結構：
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風道系統部分組裝而成，結構合理，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產生器，防機臺本身產生微塵；
3.3箱體材料：外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
3.4內膽材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產生PARTICLE；
3.5中桶材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
3.6保溫材料：硅酸鋁棉；
3.7夾層降溫：夾層風冷降溫

4、溫控系統
4.1控制器采用二合一PLC觸摸屏控制兩個腔體獨立運行，隨時切換。
4.2溫度測量：采用特制鍇裝鉑電阻；
4.3氮氣控制系統：有雙流量計的智能控制氮氣系統。

5、*的安全保護措施：

漏電斷路器//超溫保護//欠相保護//馬達過載電流保護//機臺異常蜂鳴器警示

產品參考圖：