MPI手動晶圓級太赫茲探針臺系統

TS150-AIT & TS200-THZ

TS150-AIT和TS200-THZ探針系統專為新興的THz應用而設計，例如高速5G通信，衛星，非侵入性光譜，醫療保健設備以及短距離汽車雷達等，其方法是在同一探針臺上增加有源阻抗調諧器集成。這兩個系統是業界明確設計的150 mm和200 mm探針系統，可結合毫米波，太赫茲（THz）和自動阻抗調諧器應用的要求，以的測量方向性提供準確的測試。

• 任意可達1.5THz的帶寬、差分或寬帶擴頻器和/或自動阻抗調諧器的無縫集成；
• 擴展器/調諧器集成的新穎設計，可實現的測量動態；
• 的機械穩定性和可重復性，結合方便和安全的操作。

氣浮式移動系統

MPI的氣墊載物臺設計，具有簡單的單手定標器控制，為快速的XY導航和晶圓裝載提供了的操作便利性，同時搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機芯，不影響精確定位能力。

卡盤Z調整

TS150-TH有10mm的精細卡盤Z調整，旨在靈活地集成不同的擴頻器，例如Rohde＆Schwarz，VDI或OML。對于在同一探頭系統上使用多個彎曲解決方案的設置非常有利，可以輕松快速地進行設置。

微型定位器

專用的極剛性探針臺板設計可容納兩個東西方向的粗體——東西向配置的下行MP80大面積微選址器。通過將兩個南北“電橋”作為標準配置，可以輕松進行四端口RF測量或DC偏置。

MP80-DX

市場上另一個MPI開拓性解決方案——的MP80-DX，具有低至1µm的簡單、精確的精確度，是精確且經濟高效的多線TRL的理想選擇，即多行TRL——毫米波和次太赫茲范圍內的RF校準方法。有關更多詳細信息，請訪問 MPI QAlibria® 軟件。

多種卡盤選項

TS200-THZ提供多種卡盤選件，以滿足不同的預算和應用要求，例如MPI：帶BNC連接器的標準RF卡盤； 專用mmW卡盤，內置具有高導熱率（> 180 W / Km）的特殊陶瓷；甚至 ERS AirCool射頻卡盤（從20°C到200°C或更高），帶有集成的鍍金頂面和小的真空孔。 所有卡盤都有兩個由陶瓷材料制成的輔助卡盤，用于精確的RF校準，尤其是在40 GHz以上的范圍內。

多種光學選項

提供專用的MPI光學元件 ，可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光學變焦高達12倍，工作距離超過45毫米。由于集成擴頻器固有的空間限制，要求與DUT的距離最短，因此這種顯微鏡的體積小，非常適合RF和mmW應用。