高分辨率激光干涉儀

高分辨率激光

便攜式、高分辨率、高動態范圍激光干涉儀！

超分辨剪切干涉儀(High-resolution )是一款便攜式、高靈敏度、高精度的。超分辨剪切干涉儀基于分析的四波剪切干涉技術，與傳統干涉儀相比較具有結構緊湊，使用方便，無需標準件，檢測穩定性，直接測量任意的波前、高分辨率（300x400采樣點），3D顯示等優點。

關鍵詞：干涉儀、激光干涉儀、球面干涉儀、激光平面干涉儀、干涉光刻、傳函儀、白光干涉儀、Zygo、波前分析儀、、邁克爾遜干涉儀、便攜式干涉儀、光學傳函儀

超分辨激光干涉儀基于便攜式、高靈敏度、高精度波前分析儀。該激光干涉儀采用四波剪切干涉技術，與傳統干涉儀相比較具有結構緊湊，使用方便，無需標準件，檢測穩定性，直接測量任意的波前、高分辨率（300x400采樣點）、激光波長覆蓋400-1100nm、消色差、高動態范圍（500um）等優點。

超分辨剪切干涉儀可用于激光波前檢測、激光強度檢測、等離子體密度檢測、透鏡檢測、高功率激光、檢測、精密光學元器件檢測、光學系統裝調、鏡頭模組檢測、傳遞函數（）檢測等。法國公司超分辨剪切干涉儀并可實時檢測為客戶提供優化的數據支持。

產品特點：

1、直接測量、無需標準件

圖一、檢測光路

2、高靈敏度（是普通白光干涉儀的8.4倍）、對振動不敏感

圖二 與傳統的干涉儀檢測結果對比

3、三維立體顯示

圖三、波前三維檢測視圖

4、實時顯示澤尼克系數

圖四、多階澤尼克顯示界面

5、傳遞函數（MTF）檢測

圖五、傳遞函數檢測界面

干涉儀應用領域：

? 激光光束性能、波前畸變、M^2、強度等的檢測

? 紅外透鏡檢測

? 激光、、顯微、眼科等復雜系統波前像差檢測

? 光刻機物鏡檢測

? 大口徑高精度光學元器件檢測

? 透鏡、鏡頭模組檢測

? 傳遞函數測量

? 等離子體密度檢測

? 高功率激光自適應

產品系列：