半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套

半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套的前因：

由于半導(dǎo)體生產(chǎn)常常需要使用各種化學(xué)氣體，這些氣體也會隨著工藝的過程，由真空泵從反應(yīng)腔體抽出，形成各種有毒有害的工藝尾氣，這些氣體如直接排到大氣中就會形成大氣污染。所以半導(dǎo)體生產(chǎn)廠家都需要對工藝設(shè)備尾氣進行有效的處理，以減少對環(huán)境的污染。因此，在半導(dǎo)體制造機臺中，尾氣處理裝置是半導(dǎo)體加工中的BB工具。在等離子體干法刻蝕過程中，氣體供給口提供的氣體主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等，經(jīng)過在真空反應(yīng)室內(nèi)的一系列反應(yīng)后，氣體排出口排出的尾氣主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾氣極易在室溫下結(jié)晶，因此尾氣處理過程中結(jié)晶體會附著在排氣管的管壁上，極易對排氣管進行堵塞，同時造成排氣管的損傷。此過程會造成尾氣處理不CD，同時提高生產(chǎn)成本。

需要加熱馬甲的部門：

DIFF、ETCH、CVD、EPI部門，Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。

加熱馬甲作用：

通過升高管路工作溫度，減少管內(nèi)介質(zhì)結(jié)晶，避免管路堵塞，減少PM周期，提高產(chǎn)能。

加熱馬甲溫度要求：

PVD：150°、170°（也有180°）

ETCH：80°-120°

半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套