ETAMax實時原位監測系統PyroSense

產品名稱：ETAMax實時原位監測系統PyroSense

產品型號：PyroSense

產品介紹：

ETAMax的PyroSense系列是實時原位監測系統，專注于提供非接觸式溫度測量解決方案。

PyroSense系列實時原位監測系統，是ETAMax（現已成為HORIBA集團的一員）針對半導體和工業應用領域推出的創新產品。該系統通過非接觸方式實現準確的溫度測量，為半導體制造、工業加工等過程中的溫度監控提供了可靠的技術支持。

性能特點：

非接觸式測量：PyroSense®系列采用非接觸式測量方式，避免了傳統接觸式測溫方法可能帶來的測量誤差和干擾，提高了測量的準確性和可靠性。

實時監測：系統能夠實時監測目標物體的溫度變化，并將數據及時反饋給用戶，使用戶能夠及時了解生產過程中的溫度狀況，從而做出相應的調整和優化。

高精度測量：PyroSense®系列具備高精度的溫度測量能力，能夠滿足半導體制造等高精度應用領域對溫度控制的嚴格要求。

易于集成：該系統設計緊湊，易于集成到現有的生產線或設備中，無需對原有設備進行大規模改造，降低了用戶的改造成本和時間成本。

技術參數：

產地：韓國

系列：PyroSense系列

應用：MOCVD、MBE、熱CVD

材料：Si、Ga(Al, In)N、SiC、GaAs、InP

監測：經發射率校正的溫度、反射率和曲率

反射率：三種不同波長：405、633、950nm

分析：生長速率和厚度

多通道：多達支持 3 個光學頭

溫度

量程 [°C]：450 ~ 1,500

分辨率 [°C]：0.1

精度 [°C]：±1.0

波長 [nm]：950 ± 5

采樣率 [Hz]：1,000

反射率

波長 [nm]：405, 633, 950 ± 5

量程 [%]：0 ~ 100

分辨率 [%]：0.1

精度 [%]：±1.0

生長速率精度 [%]：±1.5

曲率

采樣率 [Hz]：1,000

轉速 [rpm]：5 ~ 120

電源 [V]：AC 110~220 (50/60Hz)

尺寸 [mm](寬 × 高 × 深)

探頭：35×34×93

控制器：250×300×90

重量 [kg]

探頭：0.6

控制器：3.0