共聚焦顯微鏡

Smartproof 5 快速轉盤共聚焦顯微鏡

ZEISS蔡司的多功能 Smartproof 5 快速轉盤共聚焦顯微鏡是用于表面分析的集成系統：快速，準確，可重復。可用于各種工業應用質量保證和質量控制部門，生產部門及 R&D 實驗室日常分析中需要解決的問題。

這套高質量的共聚焦系統使用蔡司 ZEN 圖像分析軟件，為您帶來更大的用戶舒適度和提高生產力的附加利益。

應用領域

汽車與航空航天：軸承、密封件、活塞、氣缸、噴油嘴、注塑或增材制造部件的粗糙度測量

材料研究/工程 材料（例如纖維、石頭、光子結構）：表面特性檢測、電化學蝕刻后的深度測量、耐腐蝕研究、注塑工藝特性檢測

金屬與鋼材：拋光和機械加工金屬表面、刀具的粗糙度測量和耐腐蝕研究

電子器件：印刷電路板、集成電路封裝、冷凝器、太陽能電池板、LED、顯示器、玻璃上的

3D 表面形貌或粗糙度測量：醫療行業 科研和功能性表面的非接觸面粗糙度特性檢測

產品特點：

可信的數據輸出

1) 由于寬場相關孔徑共聚焦技術，Smartproof 5能夠有效地減少獲取分析結果的時間，從而能夠保證高分辨率的同時也能夠實現快速成像。

2) 蔡司優異的光學系統和可靠部件讓用戶有效率地進行各種應用。

3) 搭配ConfoMap軟件——蔡司版本的Mountains-Map——測量軟件中的黃金標準。

4) 您可以根據國際標準來分析您的數據并獲取相關分析報告。

引導式工作流程

1) 由于其簡易的操作系統和工作流程，Smartproof 5尤其適合研究生產和過程控制。

2) 易學的檢查流程和面向工作流程的圖像用戶界面（GUI）指導用戶進行重復性任務。

3) 在結果準確、可追溯的基礎下，確保用戶能夠獨立完成數據獲取。

高集成度和穩固設計

1） 得益于高度集成系統：光學元件，電子部件以及照相機都封裝在顯微鏡中。

2） Smartproof 5 的實用穩固結構讓其有效地防止振動。

優異的蔡司光學

1） 新的蔡司物鏡系列 C Epiplan-Apochromat 是專門為了快速轉盤共聚焦系統特別設計的。這些高數值孔徑物鏡不但能在可見光范圍下擁有更好的性能，在405納米（獲取共聚焦圖像所使用的波長）下也同樣如此。

2） 相比傳統的點掃描共聚焦顯微鏡，使用快速轉盤共聚焦技術的 Smartproof 5 擁有更加優異的性能。通過集成在 Smartproof 5 探測器模塊里面的相關聯的光闌轉盤技術來實現的 Smartproof 5 優異的性能，同時還保持了共聚焦顯微鏡表面表征的典型特點。您能夠得益于它杰出的高度解析能力和超高的橫向分辨率。

用于準確導航的引導式工作流程

由于其集成的ZEN圖形用戶界面支持從宏觀到微觀分析的無縫切換工作流程，Smartproof 5 的定位簡單而準確。通過概覽圖像就能夠容易地定義要測量的位置。獲取的數據會被自動傳輸到 Confomap 軟件，讓您對樣品的三維屬性進行處理和分析。工作流程能夠保存以便再次執行同樣的微觀三維分析。

值得信賴的數據輸出

自動化的 Smartproof 5 部件讓軟件能夠監控每個部件的狀態。因此用于重復性分析的工作流程很容易創建。通過功能*的 ConfoMap 軟件，您可以分析樣品的幾何參數，或依據 ISO 標準執行 2D （輪廓）和 3D （面積）粗糙度分析。

系統概覽及靈活多樣的組件選擇

顯微鏡主體：

1） 掃描頭，包括 Z 軸精細調焦驅動以及 4 百萬像素相機

2） 主機架，包括 Z 軸粗調焦驅動

3） 6 位物鏡轉盤

物鏡：

1） EC Epiplan-Neofluar 2.5×/0.06（標配）

2） C Epiplan-Apochromat 5×/0.2

3） C Epiplan-Apochromat 10×/0.4

4） C Epiplan-Apochromat 20×/0.7

5） C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 靈活多樣的組件選擇

6） LD C Epiplan-Apochromat 50×/0.6 （長工作距離）

7） LD C Epiplan-Neofluar 100×/0.75 （長工作距離）

計算機系統

1） 電腦系統自帶 Smartproof ZEN 軟件

2） 顯示器

3） 可控制 XYZ 軸的 3D 鼠標

軟件

1） ZEN core，用于數據采集和成像

2） ConfoMap，用于數據分析

3） ZEN Shuttle & Find，用于關聯顯微鏡

4） ZEN Data Storage，用于集中式數據 管理

5） ZEN Intellesis，用于高級圖像分割

6） ZEN Connect，用于不同成像方式的 數據可視化和分析

7） NEO pixel，用于 2D 自動化測量

技術參數

應用案例

機械加工金屬表面：（左圖）由 20x/0.7 物鏡拍攝的四張真彩表面紋理疊加 3D 彩色編碼高度圖的拼接圖片；（右圖）以垂直于機械加工方向獲取的粗糙度剖面圖，顯示了表面輪廓。

花齒螺釘：（左圖）3D 彩色編碼高度圖；（右圖）沿左圖所示方向獲取的剖面圖，用等高線測量角度和高度差。

電子設備：（左圖）疊加真彩紋理的三維視圖；（中圖）用 10×/0.4 物鏡創建的高度圖；（右圖）用于測量區域粗糙度或紋理的二維高度圖，例如用于質量控制或確定電子設備。

左圖：激光刻蝕表面，帶表面紋理圖層的 3D 彩色編碼高度圖， C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 物鏡

中圖：太陽能電池表面的銀手指，帶表面紋理圖層的彩色編碼高度 3D 顯示圖，C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 物鏡

右圖：8 nm 臺階高度標樣、高度圖，C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 物鏡