光學輪廓儀ZETA Zeta-20

Zeta-20光學輪廓儀概述:

  型號：Zeta-20 

  產品：光學輪廓儀/表面輪廓測試系統

  品牌：Zeta澤塔 

  簡介：最的3D成像及測試系統 （為用戶量身打造的表面輪廓測量設備，是表面量測領域的 ）

Zeta-20光學輪廓儀特點：

 功能齊全，操作簡易，用途廣泛的Zeta-20

 ZDotTM技術擅于對高粗糙度、低反射率的表面進行成像分析

  ·具有防反射涂層的太陽能電池片

  ·圖形化/蝕刻的LED基板

  ·生物微機電、微機電系統和微流體槽

  ·透明的多表面樣品成像

 Zeta-20可快速獲取數據

  ·可配置快于10秒掃一幅三維圖像的采集速度

  ·簡明易學的軟件操作界面

 Zeta-20具*的三維分析功能

  ·臺階高度、粗糙度、面積、體積、角度及其它表面屬性

  ·數據輸出格式與常見的第三方分析軟件可兼容

 Zeta-20高度的靈活性

  測量復雜的表面特征

  從深槽到金剛石鋼線，Zeta-20*的成像能力可對各種復雜表面進行測量。通常這些表面由于太粗糙、太暗或是坡度太陡而無法用其它設備測量。

 Zeta-20選項配置齊全

  在科研過程中所涉及的樣品表面類型往往難以預測。因此，Zeta-20使用模塊化設計理念，為用戶提供了一系列的硬件和軟件選項來滿足各種不同的測量需求。

  ·薄膜厚度光譜儀

  ·可測量納米級粗糙度的QDIC/Nomarski選項

  ·iX5干涉物鏡

  ·Z軸分辨率高達2nm的壓電陶瓷載臺

  ·傾斜載臺和真空吸附卡具

  ·自動特征提取和測量軟件

  ·自動表面面積測量、統計分析 ...以及其它眾多選項！

Zeta-20表面輪廓測試系統技術規格

 Zeta-20性能配置

  數據獲取： 小于10秒(200步掃描)

  3D掃描： 每秒大于30步

  像素分辨率： 0.031μm (1X耦合鏡、150X物鏡)

  Z軸分辨率： 0.002 μm (壓電陶瓷載臺)

  重復性(1σ): 0.006 μm (壓電陶瓷載臺和防震桌)

 Zeta-20標準功能

  相機選項： 640x480, 1024x768,

  1280x960像素

  放大倍率： 45000X (光學加數字)

  照明： 雙重高亮度白光LED

  手動載臺： 100mm x 100mm XY移動距離

  Z軸移動距離：40mm

 Zeta-20產品尺寸

  顯微鏡: 305 x 406 x 559

  計算機: 381 x 457 x 102

  顯示器: 596 x 449 x 240

  總重量: 65 lbs/29.5 kg

 Zeta-20操作環境

  電壓: 100 - 230 VAC

  電流: 2A

  操作溫度: 18 - 30oC, 非冷凝,± 1oC 每小時