立式球面激光干涉儀

XONOX VT系列立式球面激光干涉儀特點：

---高精密氣浮隔震系統，適合于光學加工車間現場檢測
---采用氣浮垂直移動導軌，移動快速準確，*大移動范圍1200mm，直線度可達3um
---可選裝經濟型的4寸干涉儀主機，配置靜態光圈測量分析軟件，代替傳統的樣本檢測，方便快捷，DIN或ISO測量結果顯示。
---配置ZYGO Verifire XPZ 4寸或6寸干涉儀主機，ZYGO專業測量分析軟件，適合更優異用戶使用。
---配置線性光柵尺，曲率半徑測量精度+/-3um；小曲率半徑測量裝置可選，測量精度+/-1um（+/-60mm測量范圍）
---配置XONOX 4+測量物鏡，*大測量口徑為130mm，曲率半徑測量范圍可達1150mm
---連接上電源與壓縮空氣就可以使用，無需額外配置

詳細技術參數：