無氧烘箱，晶圓干燥箱廠家偉思儀器

一、產品簡介：

　　無氧化烘箱，無塵無氧固化烤箱，半導體高溫烤箱應用于精密電子元件、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，箱內空氣封閉自循環，經耐高溫高效空氣過濾器(100級)反復過濾，使烘箱工作室內處于無塵狀態。無塵烤箱工作室為不銹鋼結構。適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業。

二、主要特點：

　　1.采用特制耐高溫長軸型馬達及強力多翼式風葉，強力吸風式機構使得均勻分布溫度，安靜低噪音，節約能源;

　　2.箱體選用全陶瓷纖維保溫，具有升溫快、節能等特點;

　　3.吸風口玻纖過濾器，確保潔凈度的要求。

三、滿足標準：

　　1.11158-1989高溫試驗箱技術條件

　　2.2423.2-1989試驗B


四、技術參數：

　　1. 溫度范圍：RT～450℃;

　　2. 內箱尺寸：800×600×600mm(W×H×D)、700*500*500(可選);

　　3. 箱體數:2個,上下布置，可定做;

　　4. 內膽材質：SUS321鏡面不銹鋼，無縫焊接保護被加工件不受任何污染;

　　5. 升溫時間(空載)：1.5h;

　　6. 降溫時間(空載)：300℃-50℃降溫時間1.5-3.5小時(采用水冷翅片散熱器);

　　7. 加熱器：特制無塵加熱器;

　　8. 溫度和氧含量記錄:進口無紙記錄儀;

　　9.標準配件高效99.97%(0.3 μ )微粒空氣過濾器、微差壓力劑、計時器、可調隔層板、單段式溫度控制器

　　氧含量：

　　1. 高溫狀態氧含量：≤ 10ppm +氣源氧含量;

　　2. 低溫狀態氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量

　　3. 控溫穩定度：±1℃;溫度均勻度：±10℃(400℃平臺);

五、產品配置：

　　1. 配置PLC,可實現多事件輸出控制氣氛、水等開關和報警;

　　2. 控制：上下爐腔可單獨控溫、通氣、報警保護;

　　3. 控溫儀表：日本島電FP93溫控儀;

　　4. 控溫段數：4×10段;控溫點數：2點;

　　5. 超溫報警點數：2點;檢測點數：2點;

　　6. 報警保護：超溫、斷偶等聲光報警保護;超溫保護：獨立感溫式超溫保護器;電機保護：電機過電流、水冷保護; 表

　　面溫升：<30℃